622章 G1光刻机!

“非常好！”杨子光高兴地点头说道，“你们能在这方面跑到所有公司的前面对我们国家具有重大的战略价值，你们一定要牢牢地占领这个技术制高点，这样我们国家才不会被国外卡脖子。”

随后杨子光也是视察了瑞星科技公司，当杨子光见到瑞星科技公司正在测试试验的第三代高端g1光刻机。

瑞星科技公司和帝都物化所联合研制的氟化氪激光光源去年已经变得成熟了，为瑞星科技公司提供了稳定可靠的光源。

同时瑞星科技公司也是根据杨杰的技术方案开发出了掩模台、工件台位置测量装置及测量方法，并且申请了国家专利。

这套装置采用了若干激光干涉仪取代电容传感器，使水平向和垂直方向的传感器一致，摸索出了一套独有的算法，对测量过程中引入对各向测量干涉仪的进行了权重分配，使得对掩模台位置测量更加精确。

瑞星科技公司通过数年的艰苦研发，总算是将工件台和掩膜台运动精度控制在了三纳米的程度，这一切是瑞星科技公司和机床研究院和数个研究所一同攻关的成果，光是这么一个系统参与的技术人员就达到了上千名。

三阳光学厂在使用了机床研究院超高精度的磨床后和天马科技公司提供的研磨液后总算是将这些锅盖大小的镜头光学孔径数值提升到了1.33，已经接近了光学镜头的极限。

g国蔡司能把光学镜头的光学孔径数值已经能做到1.4，已经逼近了1.49这个极限，三阳光学厂能做到这个地步已经是非常了不起了。

这些镜片是三阳光学厂一位有着几十年镜头研磨经验的老技师在超高精度磨床和测量仪器的配合下手工研磨出来的。

虽然这样的光学镜头产量少，生产时间很长，但是却是让三阳光学厂在光学镜头技术上迈入了一流的光学器材厂商行列。

而瑞星科技公司也是为这套光刻机研发了减震器，采用了内部封闭框架，将工作台与外部环境隔离，保持水平，减少外界振动干扰，并维持稳定的温度、压力。

为了达到这些要求，瑞星科技公司上下所有人员都是削尖脑袋不停地想办法解决各种工程技术上的难题，总算是将双工件台的第一台氟化氪激光光源的沉浸式光刻机给制造了出来。

这也就意味着瑞星科技公司这套光刻机可以支持的极限制程工艺在32纳米，如果在这个期间三阳光学厂能将镜头的光学孔径数值提高到极限，那么可以支撑制程工艺来到22纳米！

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