抱歉（1/ 2）

“老万，你怎么看？”许振鸣却没直接回答郝宁教授，反而站起身来问万宁古。

万宁古此时正用一块碎布擦着手上的污渍，脸上的露出犹豫不决的表情。

他有点相信梁宋松的判断，认为没有必要再做两遍激光光路系统的测试。但这种连续做三遍激光能量测试的计划是原先预定好的，现在立即推翻的确有些过分。

更何况郝宁教授是团队里精通光学的专家，制定的计划肯定科学。他们这些外行人怎么能随便瞎指挥。

想到这里，他朝许振鸣苦笑道：“许董，我认为郝宁教授是专业人士，制定的计划应该非常专业，咱们还是按照预定好的计划来执行。”

“好！我跟你的意见一致，专业的事情应该交给专业的人去处理。”许振鸣笑道，顺手接过万古宁递来的碎布团。他一锤定音，解决了郝宁团队和梁宋松的意见分歧。

事实上，按照许振鸣的想法，他本来不便参与这种高精技术项目的决策。但郝宁教授现在要做的是重复两次测试，顶多浪费一些时间和钞票。许振鸣承受的起，一鸣集团也不缺这点资源。

更何况，郝宁教授应该不会无的放矢，有自己专业技术方面的考虑才是。

一念至此，许振鸣朝郝宁教授一挥手，“郝教授，你们团队的测试流程都要按照预定好计划来执行，不要怕花钱，我们集团公司做项目是不怕花钱的。”

“好的许董。”郝宁教授微笑着点点头，开始忙碌起来。

而作为项目小组的负责人，梁宋松此时有点尴尬，心里更是很难受，“这帮土包子不听老人言，吃亏就在眼前呐。”

梁宋松没说话，站在那里一会儿看看郝宁教授团队的操作情况，一会儿又看看万宁古这帮人的测试流程。

这时。

万宁古的团队成员们已经把光刻机主机系统接上各种测试仪器，要立即再次检测这台主机系统的重复精度、运动精度、震动量数据、功率输出数据、运行过程中的功率变化数据、电磁杂波数据等等。

这套实验测试流程，也是刚才再三讨论过的检测技术方案。主要目的还是要看一看这台国产光刻机主机系统的各项数据，跟以前的测试报告有没有发生变化。

倘若没有发生变化，那就有点麻烦喽！

作为一鸣集团公司的重点项目，这台国产光刻机的主机系统总装调试完成以后，其实已经测试过很多次。倘若数据不过关，项目负责人胡明镇是不会立即做光刻机总调试验的。

但今天上午的光刻试验中出现光刻质量缺陷，这台设备若没出现问题，逻辑上怎么也解释不清楚。

带着这种疑问，万宁古陪着许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工作站的旁边，两眼一直盯着工作站的监视器屏幕。

时间不久，他担心的事情出现了……

当这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻执行程序以后，监视器显示的各项数据都很正常，精度误差都在许可的范围之内。

“报告许董，主机系统重复精度小于0.001毫米，数据正常。”

“报告万总，主机系统的震动量误差都在量级以内，不会对光刻程序造成影响。”

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